Inhalt Verfahren und Materialien der Mikro- und Nanotechnologie
Modul (6LP) - Turnus Sommersemester Schwerpunkte dieser Veranstaltung sind:
Neue Materialien der Mikro- und Nanotechnik inkl. ihrer Herstellung und Einsatzgebiete:
- Eigenschaften und Anwendungen von ultradünnen Schichten
- Oberflächenbeschichtungen und funktionale Schichten bzw. Schichtsystemen mit z.B. definierten magnetischen, optischen, biologischen Eigenschaften
- Grundlagen, Herstellung, Eigenschaften und Einsatz von modernen Nanomaterialien
- Fertigungsverfahren der Nanostrukturierung
- wichtige Messverfahren der Mikro- und Nanotechnologie
Die Themen werden innerhalb der Vorlesung umfassend mit Anwendungs- und Produktbeispielen behandelt.
Die praktische Durchführung ausgewählter Verfahren aus der VL werden in den Laboren des Helmholtz-Zentrums Berlin für Materialien und Energie am Standort Berlin-Adlershof (BESSY II) als Blockpraktika durchgeführt. Die Termine werden in der Vorlesung bestimmt.
Übung Verfahren und Materialien der Mikro- und Nanotechnologie
Parallel zur Vorlesungwird zur Vertiefung der Problematik eine experimentelle Übung zu den Verfahren der Mikro- und Nanotechnologie angeboten. Thematisch ist die Übung an die Vorlesung angepasst:
- Reinraumtechnik
- Fotolithografie
- Dünnschichttechnik
- Lift-Offtechnik
- Ätztechnik
Das Praktikum findet in 3 Blöcken je Semester in Kleingruppen (max. 5 Studierende) statt. Die Anmeldung sowie die Bekanntgabe der Termine erfolgen in der ersten Vorlesungsstunde "Verfahren der Mikro- und Nanotechnologie". Die Veranstaltung wird im Helmholtz-Zentrum Berlin-Adlershof im Labor an den entsprechenden Maschinen durchgeführt.
- Trainer/in: Stefan Kühne
- Trainer/in: Markus Malcher