In der Vorlesung und Übung Photonik-Nanofabrikation werden die Studierenden in verschiedene Herstellungstechnologien eingeführt, die zur Mikro- und Nanofabrikation von Bauelementen eingesetzt werden. Themen wie Vakuumtechnologie, physikalische und chemische Abscheidung, Ätztechniken, Dotierung und Oberflächenmodifikation werden vertieft behandelt.
Ein besonderer Fokus liegt auf der Lithographie und der Musterübertragung, die in der Mikro- und Nanofabrikation von entscheidender Bedeutung sind. Studierende lernen die Mechanismen der Lichtausbreitung in photonischen Strukturen sowie die physikalischen Grundlagen der Erzeugung und Manipulation von Mikro- und Nanostrukturen. Ergänzend werden moderne Abscheidungstechniken wie Atomlagenabscheidung (ALD) und Pulsed Laser Deposition (PLD) vorgestellt.
Im Praktikum Methoden der photonischen Nanofabrikation durchlaufen die Teilnehmenden alle notwendigen Prozessschritte zur Herstellung und Charakterisierung optischer Wellenleiter. Anhand eines praktischen Beispiels erlernen sie die vollständige Prozesskette – von der Elektronenstrahlverdampfung bis zur optischen Analyse der fertigen Strukturen.
In diesen Lehrveranstaltungen erarbeiten sich die Teilnehmer fundierte Kenntnisse, die sie auf aktuelle Herausforderungen in der Mikro- und Nanotechnologie vorbereiten, insbesondere im Hinblick auf photonische Anwendungen, Sensoren und Halbleitertechnologien .
- Trainer/in: Alan Günther