In der Vorlesung Photonik-Nanofabrikation werden die Studierenden in verschiedene Herstellungstechnologien eingeführt, die zur Mikro- und Nanofabrikation von Bauelementen eingesetzt werden. Themen wie Vakuumtechnologie, physikalische und chemische Abscheidung, Ätztechniken, Dotierung und Oberflächenmodifikation werden vertieft behandelt.
Ein besonderer Fokus liegt auf der Lithographie und der Musterübertragung, die in der Mikro- und Nanofabrikation von entscheidender Bedeutung sind. Studierende lernen die Mechanismen der Lichtausbreitung in photonischen Strukturen sowie die physikalischen Grundlagen der Erzeugung und Manipulation von Mikro- und Nanostrukturen. Ergänzend werden moderne Abscheidungstechniken wie Atomlagenabscheidung (ALD) und Pulsed Laser Deposition (PLD) vorgestellt.
- Trainer/in: Alan Günther