Inhalt Fertigungsverfahren der Mikrotechnik
Schwerpunkte dieser Veranstaltung sind:
Reinraumtechnik, Vakuumtechnik, Dünnschichttechnologie, Aufdampfprozesse, Sputterprozesse, CVD-Prozesse, Nass- und Trockenätztechniken, Galvanische Abscheidung, Photolithographie, Elektronenstrahl- und Röntgenlithographie, Resistmaterialien, Si-Oberflächenmikromechanik, Si-Volumenmikromechanik, Konstruktionsregeln, Mikromontage.
Die Themen werden innerhalb der Vorlesung umfassend mit Anwendungs- und Produktbeispielen behandelt. Zur praktischen Vertiefung der Vorlesung wird eine begleitende Übung angeboten.
Übung Fertigungsverfahren der Mikrotechnik
Parallel zur Vorlesungwird zur Vertiefung der Problematik eine experimentelle Übung zu den Fertigungsverfahren der Feinwerk- und Mikrotechnik angeboten. Thematisch ist die Übung an die Vorlesung angepasst:
- Reinraumtechnik
- Photolithographie
- Dünnschichttechnik
- Galvanik
- Ätztechnik
Das Praktikum findet in 3 Blöcken je Semester in Kleingruppen (max. 5 Studierende) statt. Die Anmeldung sowie die Bekanntgabe der Termine erfolgen in der ersten Vorlesungsstunde "Fertigungsverfahren der Feinwerk- und Mikrotechnik". Die Veranstaltung wird im Helmholtz-Zentrum Berlin-Adlershof im Labor an den entsprechenden Maschinen durchgeführt.
- Trainer/in: Stefan Kühne
- Trainer/in: Markus Malcher
- Trainer/in: Dirk Oberschmidt