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Die Vorlesung fokussiert die naturwissenschaftlichen Grundlagen der modernen Mikro- und Feingerätetechnik. Es werden insbesondere Effekte der Anwendung von Grundlagenkenntnissen in der ingenieurwissenschaftlichen Anwendung vermittelt. Skaleneffekte von Gesetzmäßigkeiten sind ebenso Inhalt der Vorlesung wie die grundlegende Beachtung bestehender Größenverhältnisse bei der Betrachtung und Auslegung von Prozessen sowie die Diskussion von Effekten in Mikro- und Feingeräten und deren Herstellung. Besonderes Augenmerk legt die Vorlesung auf Unterschiede in der Herangehensweise an die Lösung exakt beschriebener technischer Aufgabenstellungen und die durch Empirie gekennzeichneten komplexen Ansätze in der Lösung Disziplinen übergreifender Probleme. In einem begleitenden Seminar werden die Vorlesungsinhalte diskutiert. Dieses dient neben der Kenntnisvertiefung der Vermittlung einer lösungsorientierten Herangehensweise an komplexe Aufgabenstellungen.

Neue Materialien der Mikro- und Nanotechnik inkl. ihrer Herstellung und Einsatzgebiete: Eigenschaften und Anwendungen von ultradünnen Schichten, Oberflächenbeschichtungen und funktionale Schichten bzw. Schichtsystemen mit z.B. definierten magnetischen, optischen, biologischen Eigenschaften; Grundlagen, Herstellung, Eigenschaften und Einsatz von modernen Nanomaterialien, Fertigungsverfahren der Nanostrukturierung, wichtige Messverfahren der Mikro- und Nanotechnologie