Liebe Teilnehmer*innen von Herstellungstechnologien von Halbleitersensoren,

ich begrüße Sie zum Vorlesungsteil "Herstellungstechnologien von Halbleitersensoren" des Moduls "Mikrosystemtechnologien". Die Kursmaterialien (Literatur) und Themen finden Sie unten aufgelistet.

Die Vorlesung findet jeweils mittwochs von 10.00 -12.00 Uhr im MAR13 statt .

Es gibt ein begleitendes Praktikum zur Vorlesung.