Liebe Teilnehmer*innen von Technologien und Werkstoffe in der Mikrosystemtechnik,
Das PR bietet die Möglichkeit, den Inhalt der VL „Herstellungstechnologien für Mikrosensoren“ durch praktische Anwendung zu vertiefen. Das Praktikum vereint die seminargestützte Vertiefung der wichtigsten Mikrofertigungstechnologien mit der praktischen Durchführung ausgewählter Mikrofertigungsprozesse im Reinraum und in Speziallaboren. Anhand des Beispiels eines Silizium-Drucksensors werden unter anderem folgende Themen bearbeitet: Reinraumtechnik, Waferhandling, Reinigungsprozesse, Messtechnik, Photolithographie, Siliziumstrukturierung, Galvanik, Bonden und Testen.
Das Praktikum findet täglich in dem Zeitraum vom 28.02.-11.03.2022 von 09.00-17.00 Uhr am Campus Humboldthain, Gustav-Meyer-Allee 25, 13355 Berlin (Gebäude 17a, Fraunhofer IZM Empfang) statt.
Die Anmeldung muss bis zum 31.01.2022 per E-mail an bei Piotr Mackowiak (piotr.mackowiak@campus.tu-berlin.de) oder im Sekretariat bei Sandra Krahn (sandra.krahn@tu-berlin.de) erfolgen.
Die schriftliche Prüfung (90 Minuten) findet am 16.03.2022 10.00-12.00 Uhr statt.
- Trainer/in: Sandra Krahn
- Trainer/in: Piotr Mackowiak